Bruker橢偏儀 FilmTek 6000 PAR-SE
FilmTek™ 6000標準桿數(shù)-SE先進的多模薄膜計量系統(tǒng)在1x nm設計節(jié)點和更高的位置為廣泛的薄膜層提供生產(chǎn)驗證的薄膜厚度、折射率和應力測量監(jiān)測。該系統(tǒng)能夠在新一代集成電路的生產(chǎn)過程中實現(xiàn)更嚴格的過程控制,提高器件產(chǎn)量,并支持下一代節(jié)點技術的開發(fā)。
更新日期:2024-12-02訪問量:3028廠商性質:代理商
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